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專注于半導(dǎo)體前端工藝設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)制造

天芯微入選江蘇省潛在獨角獸企業(yè)榜單

發(fā)布時間:2023-11-30

近日,江蘇省生產(chǎn)力促進(jìn)中心正式發(fā)布2023年江蘇獨角獸企業(yè)暨高新區(qū)瞪羚企業(yè)名單,天芯微憑借技術(shù)產(chǎn)品的突破和創(chuàng)新,以及過去一年快速推動產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的成績,入選省“潛在獨角獸企業(yè)”榜單。

 

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江蘇潛在獨角獸企業(yè)名單(部分)


自成立以來,天芯微立足于技術(shù)自主和正向研發(fā),以半導(dǎo)體制造鏈中單體價值量較高的外延工藝裝備為切入點,組建資深研發(fā)團(tuán)隊。通過2年時間的潛心研制,成功推出首款產(chǎn)品Epi RP 300 Compass HP減壓外延設(shè)備,其具備先進(jìn)的紅外加熱控制技術(shù)和加熱模塊設(shè)計,可實現(xiàn)溫度的快速升降和溫度場的精確控制,使系統(tǒng)具備優(yōu)異的工藝重復(fù)性和設(shè)備穩(wěn)定性,從而獲得良好的厚度均勻性、電阻率均勻性,零滑移線和低缺陷密度的外延層生長。Epi RP 300 Compass HP主要應(yīng)用于邏輯芯片代工、功率器件等領(lǐng)域,可滿足工藝均勻性控制、低晶體缺陷、低摻雜和顆粒密度可控性強(qiáng)的要求,其各項產(chǎn)品性能都達(dá)到國際先進(jìn)水平,部分核心性能已超過國際同類產(chǎn)品。

 

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另一方面,天芯微也在積極拓展自主半導(dǎo)體裝備的產(chǎn)業(yè)化推廣和應(yīng)用。目前,天芯微已經(jīng)與數(shù)家國內(nèi)知名晶圓代工廠形成合作關(guān)系。2022年8月,天芯微首臺先進(jìn)制程硅基外延減壓設(shè)備Epi RP 300 Compass HP成功首發(fā),進(jìn)入國內(nèi)領(lǐng)先的晶圓代工廠,這標(biāo)志著公司正式從產(chǎn)品化到產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用轉(zhuǎn)身。2023年10月,天芯微與國內(nèi)第三大晶圓代工企業(yè)晶合集成達(dá)成戰(zhàn)略合作關(guān)系,進(jìn)一步推動外延等高端前道設(shè)備及工藝的合作。

 

本次入選江蘇省潛在獨角獸企業(yè)名單,是對天芯微自主創(chuàng)新能力以及市場拓展實力的認(rèn)可。未來,公司將會持續(xù)加大投入對自主可控半導(dǎo)體高端前道裝備的研發(fā)與推廣,為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)。


江蘇省獨角獸企業(yè)評估是省生產(chǎn)力促進(jìn)中心為深入實施創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略,助力打造具有全球影響力的產(chǎn)業(yè)科技創(chuàng)新中心,大力培育高成長性企業(yè),加快形成新質(zhì)生產(chǎn)力,根據(jù)省科技廳有關(guān)工作部署開展的。旨在加強(qiáng)高科技高成長高價值企業(yè)的挖掘培養(yǎng),完善獨角獸企業(yè)梯度培育體系,開辟發(fā)展新領(lǐng)域新賽道,不斷塑造發(fā)展新動能新優(yōu)勢,為打造具有全球影響力的產(chǎn)業(yè)科技創(chuàng)新中心做出新的更大貢獻(xiàn)。