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3月20-22日，SEMICON CHINA 2024在上海新國際博覽中心盛大開幕。在這一全球半導體行業的年度盛會上，ASEL天芯微作為先導集成電路產業園核心成員，展示了最新的產品技術，吸引諸多海內外產業伙伴的關注。

減壓外延設備受關注，常壓設備首次公開亮相

天芯微是國內少數真正通過完全自主設計、研發、制造硅基外延設備的企業之一，本次展會中，旗下減壓外延設備Epi RP 300 Compass HP受到產業鏈上下游的關注。該設備針對先進工藝制程的外延需求，應用于邏輯芯片、功率及存儲器件的外延工藝，適用于硅、硅鍺、硅磷等外延生長材料。目前已經獲得多家12寸FAB廠的青睞，整體性能媲美國際主流產品，并在部分核心參數上領先。

作為天芯微Compass HP平臺的第二款產品，硅基常壓外延設備Epi ATM 300 Compass HP也迎來了展會首秀。該設備繼承了Compass HP平臺靈活調配生產配置的特性，憑借天芯微自研的壓控FRC技術及獨立多區進氣模組，帶來了更高效的沉積速率和更可觀的膜厚及均一性。Epi ATM 300 Compass HP是適用于大硅片、功率器件和MEMS加工外延工藝的創新解決方案。

致力于半導體高端前道設備的設計與制造，天芯微圍繞“國產化”不斷加強供應鏈的建設管理。此次SEMICON CHINA，天芯微邀請了諸多海內外零部件供應商伙伴交流探討，攜手建立可持續，共發展的供應商體系，持續推動中國半導體設備的發展和升級。